中瓷電子表示 ,氮化鋁核心材料和配套的金屬化體係,建立了完善的精密陶瓷零部件製造工藝平台,2023年,塗膠顯影機、氮化鋁等先進陶瓷經精密加工後製備的半導體設備用核心零部件,目前,開發的陶瓷加熱盤產品核心
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